2026年5月20日、ソラリスは、同社が開発したミミズ型管内走行ロボット「Sooha」を、国内大手半導体メーカーが導入したと発表した。2026年2月から半導体装置配管の予防保全型メンテナンスに活用しており、生産現場のさらなる安定稼働を目指す。
半導体製造プロセスでは、装置配管内に生成物が堆積しやすく、これが原因で装置の故障や生産ラインの停止（突発トラブル）を招くリスクがある。特に工場内の配管は複雑な形状や高所に配置されていることが多く、従来の点検手法では対応が難しかった。
空気圧人工筋肉の特性とミミズの動きを組み合わせた管内走行ロボットのSoohaは、小口径配管内の自律走行が可能。搭載カメラやブラシによって内部の点検と清掃を同時に実施する。Soohaにより定期的なモニタリングと清掃を行うことで、突発トラブルの削減、メンテナンス工数の効率化を進め、工場全体の生産体制強化を図る。
今後ソラリスはロボットの導入効果を定量的に測定し、持続的な配管メンテナンス体制の構築を支援する方針だ。また、この事例の知見を生かし、半導体業界をはじめとする複雑な配管維持管理に課題を抱える幅広い産業分野へのサービス展開を加速させるとしている。